羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵,利用一對8字形轉子在泵殼中保持一定的間隙作等速反向旋轉而產生吸氣和排氣的運作
羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點:
1、羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內有較大的抽速
2、羅茨真空泵的轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速
3、羅茨真空泵泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染
4、泵腔內無壓縮,無排氣閥。羅茨真空泵結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感
5、壓縮比較低,羅茨真空泵對氫氣抽氣效果差
6、羅茨真空泵的轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難
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